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第122章 震惊,101所的年度计划(2 / 2)

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实际的操作比清大的光刻机要简单了很多。

只需要在面板上,将光刻胶的类型参数,掩膜版的类型参数,PA2000有计时器,曝光时间到了,自动终止,转到下一个位置曝光,一直到整个晶圆完成。

赵国庆对何振华说:看明白了吗?

何振华长呼一口气,说:了不得,你看看,晶圆上工台之后,这套自动化检测就了不得,不知道他们是怎么做到的,蚀刻过后,晶圆再次上工台,竟然可以自动复位,这可是微米级别的。

赵国庆摇摇头,说:我也想知道啊,我打算请沪市精密仪器厂,还有科院自动化研究院的人过来看看,用的啥原理,你的的光刻机要是装上了这种工台,也算鸟枪换炮了!

何振华说:你还嫌弃我们清大的机器,我们现在也算解决了一微米制程,比起国外也不落后!

赵国庆笑道:得了吧,还一微米制程,那良品率,谁要是买了你家光刻机,亏了连裤子都要当掉,没有九成以上的良品率就别说解决了,还有你看看人家制造一片晶圆要多长时间,你们要多长时间,你们用在校准上的时间,人家都已经造出好几片晶圆了!

一片晶圆就含几百块芯片,就这效率就秒杀清大的。

这话说的没错,何振华也没什么好反驳的,但不管怎么说,清大微电子也可以制造一微米制程的芯片,这很重要。

不到一个小时的时间,在所有人的关注下,芯片经过上胶,烘干,曝光,清洗,蚀刻多道工序,顺利完成,还有专门的人在记录,制定操作规程。

PA2000自带检测工具,每一次操作都会评估工序的效果,根据显示的数据,可以选择延长曝光时间,或者提前结束,所以晶片完成后,也不需要再上电子显微镜观测。

不过切割之后,赵国庆还是留下一片放到显微镜下面观测,看了几分钟,赵国庆喊何振华来看。

他上眼一看,又看看放大的倍率,说:你这是一微米制程?

你以为呢?

何振华又扒着目镜继续看看,显微镜下,芯片的结构一览无余。

规整的布线,蚀刻基本上差不多的宽度和深度,平滑的边缘。

这芯片跟艺术品差不多!

赵国庆长呼一口气,这还不是最先进的光刻机,日本的尼康跟佳能的光刻机要更好,即便如此,已然超出他的预料,需要在基础上下的功夫太多了。

这一微米跟一微米也是有很大差距啊!

何振华看了半天,意犹未尽,对赵国庆说:赵所长,你刚才说的话当不当真?

赵国庆眉头微皱,说:我刚才说什么了?

你说我是不是可以待着这,我刚才想好了,我要在这呆一段时间!

赵国庆笑道:可以是可以,不过你不能白来吧!

怎么,你还要跟我要钱?

赵国庆招招手,贾鹏飞几个走过来。

我帮我101所带带学生,这不过份吧!

……

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