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第123章 多重曝光技术 遥遥领先(1 / 2)

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('第123章多重曝光技术遥遥领先

跟着何振华干活的,不光有贾鹏飞等人,还有EDA软件后端物理设计组杨博超组内的人员。

后端物理设计,跟芯片制程息息相关,而整个EDA软件设计的最终结果,并不是芯片图纸,而是掩膜版图纸的导出。

小赵老师很不想何教授日子过舒坦,希望他在工艺探索上,为芯能加工厂再加把力气。

在制造车间,赵国庆拿出两张纸。

他指着放在桌面上的纸对何教授说:这是待曝光的晶片,我手上的是掩膜板。

赵国庆把掩膜版放到晶片上面,仿着光刻的路线,在下面纸上画一条线。

这一面曝光60%

又把掩膜版放到另一边,在下面的纸上画一条线。

另一面曝光60%

两条线之间,一条细长的线,被赵国庆用折线拉出来,上面标注着:曝光120%。

啥意思,何振华有点懵,曝光120%,那就是完全曝光了,而旁边未完全曝光的光刻胶还在起着保护作用。

何振华意识到,这么简单的一张图,有着了不得的东西,他疑惑的问:国庆,这……什么意思?

赵国庆在那条缝隙上花了一个无穷小的标记,对何振华说:你品,你细品!

何振华目光渐渐从疑惑变得清明,他的呼吸有些粗重起来。

简简单单一幅画,直接把光衍射这个桎梏给打破了。

何振华语气急促,面色因兴奋而露出潮红,说:通过多重不均匀曝光,我们可以探索更先进的制程!

赵国庆看着何振华,也不知道说什么了,反应有点慢啊,也不知道他能不能胜任。

赵国庆说:怎么样,有没有兴趣?

何振华一脸难以置信的看着赵国庆,说:你这家伙,肚子里还有多少货,就不能一次性倒出来!

赵国庆笑道:倒出来有用吗?伱们清大微电子连光刻胶都涂不匀,那光刻机,我都懒得说,都八十年代了,还用手动校准,曝光过程中,你们没办法精准测量,60%这个精准度,你们能做到吗?

何振华很不服气,说:再怎么说,我们也解决了一微米制程,Intel去年发布的386还是一点五微米的制程,比我们还落后一代!

你就自嗨吧!赵国庆摇摇头说:人家是商用化制程,良品率不在90%以上,你那个一微米最多是实验室制程,一片晶圆只有一两块芯片能用的,良品率是个位数,四舍五入趋向于于零的那种。

即便是芯能现在也能造一微米的芯片,但跟Intel的一点五微米还不能比。

CPU结构中寄存器、缓存、逻辑运算单元……制造的晶体管类型都不一样,整个过程需要几十道工序,能曝光十几次,蚀刻数次,还能达到九成的良品率,这工艺已经远超我们了。

再加上Intel在芯片设计、制造上面的积累,人家一点五微米的支持,集成的晶体管还超过我们一微米制程的芯片。

要认识差距,不能自嗨,何教授,路子给你了,我看好你,你一定会成功的!

……

我可以写这方面的论文吗?

赵国庆点点头说:是你研究的,当然可以,不过二作、三作、通讯作者什么的,带带你的学生,有条件的话,给他们弄一张清大的研究生学历什么的?毕竟现在人都看中这些!

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